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  • YSBZK6000真空度測(cè)試儀
    YSBZK6000真空度測(cè)試儀

    YSBZK6000真空度測(cè)試儀均采用基于電離電荷的采樣技術(shù)。在磁控放電的研究中發(fā)現(xiàn):在外激勵(lì)電源、真空滅弧室的幾何尺寸、所用材料一定時(shí),真空滅弧室內(nèi)的真空度與電離的電荷量有非常準(zhǔn)確的對(duì)應(yīng)關(guān)系,而與電離電流的峰值僅有概率上的相關(guān)間接關(guān)系。因此,開發(fā)了基于電離電荷的采樣技術(shù),顯著提高了真空滅弧室的真空度計(jì)量的準(zhǔn)確性。

    更新時(shí)間:2022-02-11瀏覽量:990
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